特許
J-GLOBAL ID:200903019053468940
圧力波発生装置およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-289024
公開番号(公開出願番号):特開2007-144406
出願日: 2006年10月24日
公開日(公表日): 2007年06月14日
要約:
【課題】出力の経時安定性に優れる圧力波発生装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】この圧力波発生装置は、基板と、発熱体層と、基板と発熱体層との間に設けられる熱絶縁層とを含み、発熱体層への通電によって引き起こされる発熱体層の温度変化が周囲の媒質(空気)中に圧力波を発生させる。熱絶縁層は、多孔質層と、多孔質層と発熱体層との間に設けられ、多孔質層内に空気中に含まれる酸素や水分などの反応性物質や不純物が拡散するのを抑制するバリア層とを含む。バリア層の形成により、多孔質層の経時変化に起因する圧力波発生装置の出力低下を防止することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、発熱体層と、前記基板と前記発熱体層との間に設けられる熱絶縁層とを含み、前記発熱体層への通電によって引き起こされる前記発熱体層の温度変化が、周囲の媒質中に圧力波を発生させる圧力波発生装置であって、前記熱絶縁層は、多孔質層と、前記多孔質層と前記発熱体層との間に設けられ、前記多孔質層への前記媒質成分の拡散を抑制するバリア層を含むことを特徴とする圧力波発生装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
5D107AA09
, 5D107BB08
, 5D107BB20
, 5D107CC11
, 5D107CC20
, 5D107DD11
, 5D107EE01
, 5D107FF03
, 5D107FF09
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
圧力波発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-113369
出願人:科学技術振興事業団
審査官引用 (1件)
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