特許

J-GLOBAL ID：200903043141867314

超音波音源および超音波センサ

発明者： 越田 信義 ,  椿 健治
出願人/特許権者： 農工大ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077007
公開番号（公開出願番号）：特開2005-269745
出願日： 2004年03月17日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 超音波音源、スピーカー音源、アクチュエータ等に有用で、とくに超音波センサ音源として有用な、耐電力特性が高くかつ最大発生音圧を大きくすることが可能な、新しい超音波音源さらにその超音波音源を用いた超音波センサを提供する。【解決手段】 熱伝導性の基板(2)と、基板(2)上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層(3)と、断熱層(3)上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される金属膜からなる発熱体薄膜(4)と、を備えた超音波音源(1)において、断熱層(3)のナノ結晶シリコン層の厚みを、発信する超音波の周波数で規定される熱拡散長以上でかつ熱拡散長に5μm加えた厚み以下とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

熱伝導性の基板と、基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、断熱層上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される金属膜からなる発熱体薄膜と、を備えた超音波音源であって、断熱層のナノ結晶シリコン層の厚みが、発信する超音波の周波数で規定される熱拡散長以上でかつ熱拡散長に5μm加えた厚み以下であることを特徴とする超音波音源。

IPC (2件)：

H02N2/00 ,  H03H9/24

FI (2件)：

H02N2/00 B ,  H03H9/24 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧力波発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-113369   出願人：科学技術振興事業団

審査官引用 (4件)

• 圧力波発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-113369   出願人：科学技術振興事業団
• 熱誘起圧力波発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-354174   出願人：科学技術振興事業団
• スピーカ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381409   出願人：パイオニア株式会社
• 特開平3-140100