温度測定方法及び温度測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村満 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172576
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004452
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 100°C程度のシリコンウエハの表面温度を非接触で測定する。【解決手段】波長の異なる光を発光するLED111と112とを参照クロックに同期して点滅させ、LED111と112からの光をビームスプリッタ113で分割し、一方の光束φ11,φ22を、光ファイバ12で導いてウエハWに照射する。ウエハWからの反射光を、光ファイバ14で光電変換部15に導いて、分光して光電変換する。光電変換された信号を、ロックインアンプ17で参照クロックを用いてロックイン増幅し、反射光の強度に対応する信号を抽出する。ビームスプリッタ113で分割した光の他方の光束の強度を分光して検出し、これを基準として、反射光の強度から、各波長光に対するウエハWの反射率を求め、さらに、求めた反射率の比を求める。この比から、ウエハWの表面温度を演算する。

請求項（抜粋）：

温度測定対象物表面の複数波長の光に対する反射率を測定する測定工程と、前記測定工程で測定された反射率の比を求める工程と、求めた反射率に基づいて温度測定対象物の温度を特定する工程と、を備えることを特徴とする温度測定方法。

IPC (2件)：

G01J 5/58 , G01J 1/10

FI (2件)：

G01J 5/58 , G01J 1/10

Fターム (24件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065AB04 , 2G065AB22 , 2G065AB28 , 2G065BA04 , 2G065BA34 , 2G065BB02 , 2G065BB14 , 2G065BC03 , 2G065BC04 , 2G065BC07 , 2G065BC14 , 2G065BC22 , 2G065DA15 , 2G066AA04 , 2G066AB01 , 2G066AB02 , 2G066AC01 , 2G066AC11 , 2G066BA13 , 2G066BA14 , 2G066BA38 , 2G066CA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

処理装置においてリアルタイムで温度を測定する方法およびセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-297368 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開昭62-140036
粉末成分測定方法、粉末成分測定装置および粉末成分測定用の光学ファイバプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-204031 出願人：エヌアイアールシステムズインコーポレーティッド

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