特許

J-GLOBAL ID：200903019146836176

極端紫外光光源装置

発明者： 白井 隆宏
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-183460
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005542
出願日： 2005年06月23日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】リング状の支持体内により多くの枚数のプレートを配置することを可能にした極端紫外光光源装置のホイルトラップを提供する。【解決手段】極端紫外光光源装置のホイルトラップ15を、支持体であるリング18と、このリング18の内側で支持される放射状に配置された複数のプレート19とから構成し、更に複数のプレート19を、両側をリング18により支持され、十字型に組み合わされた2枚の第1のプレート(A)19と、第1のプレート(A)19により分割された空間に配置され、一端はリング18により支持され、他端は第1のプレート(A)19の交点付近で互いに突き当てられて位置決めされる複数の第2のプレート(B)19とから構成される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

容器と、 この容器内に極端紫外光を放射する原料を供給する原料供給手段と、 上記容器内に供給された原料を加熱・励起して極端紫外光を放射するプラズマを発生させる加熱・励起手段と、 上記プラズマから放射される極端紫外光を集光するように上記容器内に配置された集光光学手段と、 上記集光された極端紫外光を取り出す光出射部と、 上記加熱・励起手段と上記集光光学手段との間に設けられるホイルトラップとを備えた極端紫外光光源装置において、 上記ホイルトラップは、リング状の支持体と、この支持体の内側にこの支持体により支持される放射状に配置された複数のプレートとから構成され、上記プレートは、両端を上記支持体により支持され、十字型に組み合わされた2枚の第1のプレートと、この第1のプレートにより分割された空間に配置され、一端は上記支持体により支持され、他端は上記第1のプレートの交点付近で互いに突き当てられて位置決めされる複数の第2のプレートとからなることを特徴とする極端紫外光光源装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G21K 5/08 ,  H05G 2/00

FI (4件)：

H01L21/30 531S ,  G21K5/08 X ,  G21K5/08 Z ,  H05G1/00 K

Fターム (5件)：

4C092AA04 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092BD20 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 伸張可能な薄膜を備える汚染バリヤ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-426987   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ