特許
J-GLOBAL ID：200903016422831311
伸張可能な薄膜を備える汚染バリヤ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426987
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214656
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】薄膜の不都合な変形を最低限度に低減する汚染バリヤを提供すること。【解決手段】本発明はリソグラフィ投影装置用のフォイル・トラップに関する。フォイル・トラップは、例えば、EUV源からの放射線を妨害しないで通過させる開放構造を形成する。フォイル・トラップは、放射線源からの屑の粒子を捕捉するように配置されている薄膜を備える。薄膜はフォイル・トラップ軸から半径方向に延びる。機械的な応力を避けるために、薄膜はスライドできるようにリングの一方または両方の溝内に接続している。これにより、薄膜は容易に延びることができ、機械的応力が避けられ、その結果、薄膜は変形しない。薄膜の外端部の中の少なくとも一方は、リングに熱的接続している。このリングは冷却システムにより冷却することができる。好ましい実施形態の場合には、フォイル・トラップは、内部リングがEUVビームにより照射されないようにシールドを備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
放射線源からの放射線は通過させるが、前記放射線源からの屑は捕捉するための汚染バリヤであって、前記汚染バリヤが、主軸から半径方向に延びる多数の薄膜を備え、前記各薄膜が前記主軸を備える各平面内に位置していて、前記汚染バリヤが内部リングおよび外部リングを備えていることと、前記各薄膜が前記内部および外部リングの中の少なくとも一方の溝内のその外端部の中の少なくとも1つのところにスライドできるように位置決めされることとを特徴とする汚染バリヤ。
IPC (6件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, G21K1/00
, G21K3/00
, G21K5/00
, G21K5/02
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, G21K1/00 X
, G21K3/00 Z
, G21K5/00 Z
, G21K5/02 X
2H097BA04
, 2H097EA01
, 2H097LA10
, 5F046AA28
, 5F046CB01
, 5F046CB27
, 5F046GA20
, 5F046GB09
