特許

J-GLOBAL ID：200903019167735701

感光性ポリシアヌレート・フォトレジストおよびその製法

発明者： ジェフリー・シー・ヘドリック ,  コンスタンチノス・パパトマス ,  スチーブン・エル・ティスデール ,  アルフレッド・ヴィーベック ,  ジェフリー・ディー・ジェローム ,  ヴォイヤ・アール・マルコヴィッチ ,  トマス・エイチ・ルイス ,  スチーブン・ジェイ・ファーニス
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242987
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137059
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 硬化すると、耐クラック性の感光性ポリシアネート・レジストを生成する混和物、その使用法、およびその製法を提供する。【解決手段】 レジストは、シアネート樹脂と、フッ素含有熱可塑性ポリマー変性剤と感光剤とを含み、化学線の放射に対してポジティブ、ネガティブのいずれの感光性を持たせるように作成することも可能である。硬化したレジストは、熱的および機械的特性が改善されているため、電子パッケージング用途などの高温での使用に適する。

請求項（抜粋）：

シアネート樹脂、シアネート樹脂プレポリマー、およびこれらのブレンドからなる群から選択した熱硬化性材料と、反応性ハロゲン含有熱可塑性ポリマー変性剤と、感光剤とを含む、混和物。

IPC (4件)：

C08L 79/00 LQZ ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08L 79/00 LQZ ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-187021
  
• 特開平3-058050
  
• 特開平2-105823
  
• プリント配線板表面の選択的保護コーティング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-101939   出願人：三菱瓦斯化学株式会社