特許

J-GLOBAL ID：200903019181641051

圧電アクチュエータ及びポンプ

発明者： 上辻 靖智 ,  仲町 英治 ,  槌谷 和義
出願人/特許権者： 財団法人大阪産業振興機構
代理人 (1件)： 角谷 哲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-072630
公開番号（公開出願番号）：特開2006-295147
出願日： 2006年03月16日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】圧電アクチュエータのたわみを増大させ、吸引・送液量の大きい液体ポンプ用等に適した圧電アクチュエータの提供。【解決手段】圧電材料からなる圧電膜の両面に電極膜が接合され、両電極への電圧の印加により前記圧電膜の電圧印加直角方向の伸縮変形が許容されて電圧印加方向に大きな屈曲変位を発現する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電アクチュエータの圧電膜の厚さ方向に一又は複数箇所の細長い切込みが設けられている圧電アクチュエータ。細長い切込みが、圧電膜の中央部から外周部に向かって設けられている上記の圧電アクチュエータ。【選択図】 図24

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる圧電膜の両面に電極膜が接合され、両電極への電圧の印加により前記圧電膜の電圧印加直角方向の伸縮変形が許容されて電圧印加方向に大きな屈曲変位を発現する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電アクチュエータの圧電膜の厚さ方向に一又は複数箇所の細長い切込みが設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/193 ,  F04B 9/00 ,  F04B 43/04 ,  F15B 15/10

FI (9件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/08 M ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 102 ,  F04B9/00 B ,  F04B43/04 B ,  F15B15/10 Z

Fターム (12件)：

3H075AA09 ,  3H075DB02 ,  3H077CC02 ,  3H077DD06 ,  3H077FF36 ,  3H081AA15 ,  3H081AA34 ,  3H081BB05 ,  3H081CC29 ,  3H081DD36 ,  3H081DD38 ,  3H081HH10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072270   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社