特許

J-GLOBAL ID：200903026883577188

マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法

発明者： 古田 一吉 ,  篠原 潤
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072270
公開番号（公開出願番号）：特開平10-299659
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 シリコン基板上にマイクロマシニング技術を用いて、双方向送液が可能でかつ耐背圧性の高い能動的バルブを有し、圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって薄型化を可能とし、かつ薄膜逆止弁を有することによって吐出効率を向上させることも可能なマイクロポンプの実現を図ることにある。【解決手段】 シリコン基板に形成されたダイアフラムの剛性によってパッキンをガラス基板に押しつけ耐圧性を有するバルブを実現し、圧電素子とダイアフラムのユニモルフ構造によってバルブの能動的な開閉を実現する。そして同じく圧電素子とダイアフラムのユニモルフ構造によってポンピング動作をおこなうことによって、任意の方向への送液を可能とする。また吐出口にアルミニウム犠牲層とポリイミドによる薄膜逆止弁を取り付けることによって吐出効率を向上させることも可能である。

請求項（抜粋）：

半導体プロセスによってシリコン基板上につくられた中央部に突起を有し弁の開閉をおこなう吐出側、吸入側の二つのバルブ部ダイアフラムと、同じくシリコン基板上につくられた流体を押し出す働きをする一つのポンプ部ダイアフラムと、流体が通過する貫通穴を有しシリコン基板に接合されるガラス基板と、三つのダイアフラムを能動的に駆動するアクチュエータから構成されることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (3件)：

F04B 43/04 ,  F04B 9/00 ,  F04B 43/02

FI (3件)：

F04B 43/04 B ,  F04B 9/00 B ,  F04B 43/02 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-149778
  
• 圧電ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352276   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特表平5-502090
  
• 特開平4-194380