マイクロ波放電式プラズマ・コンタクター

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-109315
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325896
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】熱電子放出を必要としないマイクロ波放電式プラズマ・コンタクターを提供すること。【構成】放電室と、前記放電室に作動気体を導入する導入手段と、前記放電室に磁場を発生する磁場発生手段と、前記放電室にマイクロ波を導入し、前記磁場との相互作用によって電子を加速して、電子サイクロトロン共鳴放電により前記作動気体のマイクロ波放電プラズマを前記放電室内に発生させるプラズマ発生手段と、前記放電室から前記放電プラズマを引き出し、前記放電室の外部にプラズマ雲を形成する引き出し手段と、を具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

放電室と、前記放電室に作動気体を導入する導入手段と、前記放電室に磁場を発生する磁場発生手段と、前記放電室にマイクロ波を導入し、前記磁場との相互作用によって電子を加速して、電子サイクロトロン共鳴放電により前記作動気体のマイクロ波放電プラズマを前記放電室内に発生させるプラズマ発生手段と、前記放電室から前記放電プラズマを引き出し、前記放電室の外部にプラズマ雲を形成する引き出し手段と、を具備することを特徴とするマイクロ波放電式プラズマ・コンタクター。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-149300
特開昭63-149299
特開昭63-200442

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