特許
J-GLOBAL ID:200903019199548385
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-198425
公開番号(公開出願番号):特開平11-100503
出願日: 1998年07月14日
公開日(公表日): 1999年04月13日
要約:
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】
請求項(抜粋):
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4から8価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水素または炭素数1から20までの有機基、nは10〜100000の整数、mは1または2の整数、pは1から4の整数を示す。)
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平4-204945
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感光性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115526
出願人:東レ株式会社
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