特許
J-GLOBAL ID：200903094347520454

感光性組成物

発明者：
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について

, 
三浦 康男

三浦 康男 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024270
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子、または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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