特許

J-GLOBAL ID：200903094347520454

感光性組成物

発明者： 富川 真佐夫 ,  三浦 康男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024270
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子、または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)【化1】(式中、R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3から6価の有機基、R3 は水素原子または炭素数1から10までの1価の有機基である。また、nは10から100000までの整数、mは1または2、pは1から4までの整数である。)で表されるポリマーと、(b)キノンジアジド化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/039 ,  C08K 5/28 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-204649
  
• 特開平4-284455
  
• 耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-047455   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物と該組成物を用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153918   出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社