特許
J-GLOBAL ID：200903019199959040
集束電極を有する電界放出カソード及び集束電極を有する電界放出カソードの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191848
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029484
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 アノード・カソード間の耐圧を低下することなく、エミッタから放出される電子の広がりを防止した電界放出カソードを提供すること。【構成】 ゲート電極5の上にエミッタ8から放出された電子を集束する集束電極7を第2絶縁層6を介して一体に形成する。さらに、集束電極7の径をゲート電極5の径の略1.2〜2倍にするようにして、エミッタ8から放出された電子を集束すると共にクロストークが発生しないようにする。
請求項（抜粋）：
基板の上に形成されたカソード電極と、該カソード電極の上に、第1の絶縁層を介して形成されたゲート電極と、該ゲート電極の上に、第2の絶縁層を介して形成された集束電極と、上記第1の絶縁層と上記ゲート電極とに設けられた第1の開口部と、該第1の開口部と同軸の中心を有する、上記第2の絶縁層と上記集束電極とに設けられた第2の開口部と、上記第1の開口部内であって、かつ、上記カソード電極上に形成されたエミッタとを備え、上記第2の開口部の径を上記第1の開口部の径に対して、略1.2〜2倍としたことを特徴とする集束電極を有する電界放出カソード。
IPC (2件)：
引用特許：
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