特許
J-GLOBAL ID:200903019200722084
被研磨物保持材及び被研磨物の製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-150840
公開番号(公開出願番号):特開平11-309667
出願日: 1998年06月01日
公開日(公表日): 1999年11月09日
要約:
【要約】【課題】被研磨物のスクラッチ発生を抑制する被研磨物保持材を提供する。【解決手段】熱硬化性樹脂を含浸したアラミド繊維基材(プリプレグ)の層を加熱加圧成形してなる被研磨物保持材である。例えば、アラミド繊維不織布にエポキシ樹脂を含浸乾燥したプリプレグの層を加熱加圧成形する。成形した積層板を加工し、周囲にギアを有し、被研磨物を嵌め込むための貫通穴を4個設けた保持材とする。この保持材は、表面材をアラミド繊維基材プリプレグで構成し、芯材をガラス繊維織布基材プリプレグやポリエステル繊維基材プリプレグなどで構成してもよい。
請求項(抜粋):
熱硬化性樹脂を含浸したアラミド繊維基材の層を加熱加圧成形してなることを特徴とする被研磨物保持材。
引用特許:
審査官引用 (3件)
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研磨用薄板
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-036386
出願人:三菱レイヨン株式会社
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平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-119116
出願人:スピードファム株式会社
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特開平3-073265
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