特許
J-GLOBAL ID:200903019264414766
記録装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩壁 冬樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-307574
公開番号(公開出願番号):特開2001-128101
出願日: 1999年10月28日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】 ビデオカメラで半導体製造装置の各部を撮像するだけでは、作業者が、所定時間を経過する度に、録画したビデオテープを巻き戻す必要があり、煩雑であるとともに、半導体製造装置の状態がどのような場合に異常が発生するのかを認識することが困難であり、半導体製造装置の故障の原因を解析するのが困難であるなどの課題があった。【解決手段】 記録手段の動作を制御する制御部に、所定の記録時間を経過すると、自動的に記録媒体の記録開始位置を初期化し、再度、動画像を記録媒体に記録する動作を繰り返すエンドレス記録機能を設けたものである。
請求項(抜粋):
監視対象装置の動作状態を撮像手段で撮像し、撮像手段で撮像された動画像を記録手段で記録媒体に記録する記録装置において、動作を開始後に所定の記録時間が経過すると、自動的に記録媒体の記録開始位置を初期化し、停止を指示されるまで、再度、動画像を記録媒体に記録する動作を繰り返すエンドレス記録制御手段を備えたことを特徴とする記録装置。
IPC (5件):
H04N 5/765
, G11B 5/027 501
, H04N 5/91
, H04N 7/18
, H01L 21/02
FI (5件):
G11B 5/027 501 L
, H04N 7/18 U
, H01L 21/02 Z
, H04N 5/782 K
, H04N 5/91 N
Fターム (35件):
5C018FA00
, 5C018FA01
, 5C018FB01
, 5C018FB03
, 5C018FB04
, 5C018HA11
, 5C053FA21
, 5C053FA23
, 5C053JA16
, 5C053JA22
, 5C053KA24
, 5C053KA25
, 5C053LA01
, 5C053LA04
, 5C054AA01
, 5C054AA05
, 5C054CA04
, 5C054CC05
, 5C054EA01
, 5C054EA05
, 5C054EA07
, 5C054EB05
, 5C054FE14
, 5C054FE18
, 5C054GB02
, 5C054GB05
, 5C054GB06
, 5C054GD01
, 5C054GD03
, 5C054GD06
, 5C054GD07
, 5C054HA02
, 5D030AA02
, 5D030BC20
, 5D030CC18
引用特許:
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