特許

J-GLOBAL ID：200903019271801597

感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

発明者： 林 伸之 ,  谷 元昭 ,  町田 裕幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-315340
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160241
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 膜減りが少なく、現像工程に有機溶媒を使用しない、低コストの感光性樹脂組成物を得ること課題とする。【解決手段】 下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は4価の脂肪族基又は脂環族基であり、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環族基又はオルガノシロキサン基である)で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体と、少なくとも1種類のエポキシアクリレート又はエポキシメタクリレートと、3つ以上の重合性不飽和基を持つ重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物により上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は4価の脂肪族基又は脂環族基であり、R2 は2価の芳香族基、脂肪族基、脂環族基又はオルガノシロキサン基である)で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体と、少なくとも1種類のエポキシアクリレート又はエポキシメタクリレートと、3つ以上の重合性不飽和基を持つ重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/48 MDK ,  C08F290/06 MRV ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515

FI (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/48 MDK ,  C08F290/06 MRV ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-077742
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-190155   出願人：チッソ株式会社
• 特開昭59-015449
  

審査官引用 (5件)

• 特開平4-077742
  
• 特開平4-077742
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-190155   出願人：チッソ株式会社
• 特開昭59-015449
  
• 特開昭59-015449