特許
J-GLOBAL ID：200903019331929504
基板収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131659
公開番号（公開出願番号）：特開平10-310191
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が作用することを防止でき、また、輸送時等において収納した精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容器を提供する。【解決手段】 半導体ウェハ等の複数の精密基板Pを周縁が収納溝11aに遊合した状態でカセット10に収容し、このカセット10を容器本体20内に傾斜状態で収容して精密基板Pを片寄せし、蓋体30をカセット10内の精密基板Pが延びる方向から容器本体20の開口23に嵌着させ、蓋体30の押さえ部材39の押さえ溝39aを精密基板Pの上縁に遊合させて精密基板Pを押さえ、蓋体30の装着時や蓋体30を装着した輸送時等において精密基板Pが破損することを防止する。
請求項（抜粋）：
上部が開口した側壁部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させて複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、前記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に対して所定角度θ傾斜した傾斜状態で保持可能に形成するとともに、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カセットの傾斜方向と直角な方向に一致させたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65D 85/38 R
, H01L 21/68 V
