特許
J-GLOBAL ID：200903019349345933
回路検査装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142788
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337511
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 回路部品に電力を供給して発熱状態を赤外線撮影により観測するとき、内部の局所的な発熱を良好に観測できるようにするとともに、回路部品を破壊しない範囲で検査できるようにする。【解決手段】 検査対象の回路部品2に電力供給手段25により電力を断続的に繰り返し供給し、この状態での回路部品2の放射熱を部品撮影手段22により撮影する。電力供給の断続により回路部品2では発熱と冷却とが交互に繰り返され、回路部品2の樹脂パッケージの熱伝導が良好な場合でも内部回路の発熱を良好に撮影でき、回路部品2の発熱温度が限界を超過して破壊が発生することも防止できる。
請求項（抜粋）：
検査対象の回路部品の放射熱を撮影する部品撮影手段と、前記回路部品に電力を断続的に繰り返し供給する電力供給手段と、を具備している回路検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 25/72 G
, H01L 21/66 T
