特許

J-GLOBAL ID：200903019410443307

膜厚モニタ装置、成膜装置、成膜方法、自発光素子の製造方法

発明者： 高橋 賢一 ,  梅津 茂裕
出願人/特許権者： 東北パイオニア株式会社
代理人 (2件)： 小橋 信淳 ,  小橋 立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-009172
公開番号（公開出願番号）：特開2006-193811
出願日： 2005年01月17日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 成膜時のモニタ感度を調整可能にする。【解決手段】 基板上に成膜材料を成膜する成膜装置に設けられ、基板上に成膜された薄膜の膜厚をモニタする膜厚モニタ装置1であって、水晶振動子11に向かって飛翔する成膜材料を間欠的に遮蔽するために、水晶振動子11上に遮蔽部12A2と非遮蔽部12A1を交互に移動させる遮蔽手段12(遮蔽部材12A,駆動モータ12B)を設け、遮蔽手段12の移動に対して、水晶振動子11と遮蔽手段12の相対位置を検出する位置検出手段13(検出部13A,被検出部13B)と、位置検出手段13の出力によって、遮蔽手段12を移動又は停止させる移動制御手段14を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に成膜材料を成膜する成膜装置に設けられ、該基板上に成膜された薄膜の膜厚をモニタする膜厚モニタ装置であって、 前記成膜材料の付着量に応じて共振周波数が変化する水晶振動子と、 該水晶振動子に向かって飛翔する前記成膜材料を間欠的に遮蔽するために、前記水晶振動子上に遮蔽部と非遮蔽部を交互に移動させる遮蔽手段と、 前記遮蔽手段の移動に対して、前記水晶振動子と前記遮蔽手段の相対位置を検出する位置検出手段と、 該位置検出手段の出力によって、前記遮蔽手段を移動又は停止させる移動制御手段とを備えることを特徴とする膜厚モニタ装置。

IPC (4件)：

C23C 14/54 ,  G01B 17/02 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (4件)：

C23C14/54 G ,  G01B17/02 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (19件)：

2F068AA28 ,  2F068BB15 ,  2F068DD05 ,  2F068DD08 ,  2F068DD12 ,  2F068FF23 ,  2F068FF28 ,  2F068LL12 ,  2F068QQ10 ,  2F068TT04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029DA10 ,  4K029DA12 ,  4K029EA00 ,  4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 膜厚モニター及びこれを用いた成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-041176   出願人：日本真空技術株式会社