特許
J-GLOBAL ID：200903019410617607
平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパ及び平板型マイクロレンズアレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289517
公開番号（公開出願番号）：特開平11-123771
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 平板型マイクロレンズアレイの成形時に余分な高屈折樹脂が食み出すことがないスタンパを提供する。【解決手段】 成形面にレンズ部を成形する凹部群2を形成するとともに全周に外端まで続く落し込み部3を形成しこれをスタンパ1とする。次いで、離型剤4を塗布した成形面の上に、高屈折樹脂5を塗布し、ガラス基板6を前記高屈折樹脂5に押し付けて展開する。この操作により、高屈折樹脂5は凹部群2内に充填されるとともに、余分な高屈折樹脂5は落し込み部3内に収納され、外部には食み出さない。
請求項（抜粋）：
多数の凹部群に高屈折率樹脂を塗布した後、その上に平板状のガラス基板を接合し、樹脂を凹部群とガラス基板間に展開して硬化せしめるとともに剥離することによって、ガラス基板表面に塗布した高屈折樹脂材料を多数の凸部群に成形せしめる平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパにおいて、このスタンパの成形面にはレンズ部を成形する凹部群が転写若しくはエッチングによって形成され、更にスタンパの成形面のレンズ部外周には前記凹部と略同一深さで少なくとも前記ガラス基板が接合される領域の外側まで続く落し込み部が転写若しくはエッチングによって形成されていることを特徴とする平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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