特許

J-GLOBAL ID：200903019415128787

X線撮像装置

発明者： 越柴 洋哉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048316
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260713
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】透過形ターゲットを使用した微小焦点X線撮像装置において、均一な明るさのX線透過像を得る。【構成】ベリリウム箔11にタングステン膜10を薄く蒸着したターゲットに対し、微細な集束電子線1を照射する。タングステン膜10は、環状の電子冷却素子14で冷却されている。電子線1の進行方向の延長線上を外してX線イメージインテンシファイア22を配置する。試料7の透過X線像をX線イメージインテンシファイア22とCCDカメラ24で検出する。【効果】薄い透過形ターゲットでは、電子線の進行方向に強いX線が発生する。電子線の進行方向の延長線上を外してX線イメージインテンシファイアを配置するため、一様な強度のX線がX線イメージインテンシファイアに入射する。このため、均一な明るさのX線透過画像が得られる。

請求項（抜粋）：

透過形ターゲットを使用したX線源に対して、斜めにX線像検出器を配置したX線撮像装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-326266
  
• 特開平4-144045
  
• X線利用の基板検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-045661   出願人：オムロン株式会社