特許
J-GLOBAL ID：200903019420061496
微粒子群密度上昇方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-372327
公開番号（公開出願番号）：特開2006-179353
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 搬送管を用い作動排気構造、高圧力ジェットを利用した微粒子搬送方法においては、加速放出された微粒子は、指向性を有して放出され放出方向に対する垂直方向では拡散は小さい。しかし、微粒子径による搬送管内の加速長の違い、微粒子を搬送する気体の搬送管内壁との摩擦による径方向分布の速度差等により加速放出される微粒子は、放出方向に主として拡散してしまう。【解決手段】 本願発明においては、レーザー生成プラズマ光源となるターゲットの密度を効果的に上昇させ、吸収の効率をあげることが出来る。これにより、レーザーアブレーションを利用した気体搬送方式では達成できなかった高密度状態が得られる。同時に高効率なプラズマ光源発生が達成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
気体搬送による微粒子群圧縮方法であって、微粒子群放出先に気体を充填し、該気体と該微粒子群の衝突により該微粒子群中の小径微粒子を制動させ、該静止した小型微粒子と後続の該微粒子群中のやや大きい微粒子を衝突させ、この動作を連続的に行うことにより、連鎖的に該微粒子群中の大型微粒子まで制動させ、高密度を得ることを特徴とした微粒子群圧縮方法。
IPC (4件)：
H05G 2/00
, G03F 7/20
, G21K 5/08
, H01L 21/027
H05G1/00 K
, G03F7/20 503
, G21K5/08 X
, H01L21/30 531S
2H097CA15
, 4C092AA06
, 4C092AA13
, 4C092AB21
, 4C092AC08
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 5F046GC03
