超微粒子生成堆積装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：蔵合正博 , 蔵合正博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-282222
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】高純度超微粒子を効率的に作製し、堆積を行い、併せて超微粒子に対する汚染・ダメージを軽減する超微粒子生成堆積装置を提供すること。【解決手段】低圧希ガス雰囲気下でターゲット材をレーザー光108で励起し、アブレーション反応によってターゲット材の脱離・射出を行い、脱離・射出物質を空中で凝縮・成長させて超微粒子を生成し、この超微粒子をアブレーションプルームの成長方向に配置された超微粒子収集パイプによって収集する超微粒子生成部101、収集された超微粒子を荷電し、分級装置113を用いて分級する超微粒子分級部102、分級された超微粒子を堆積基板上に超微粒子堆積用ノズルを介して堆積する超微粒子堆積部103から構成される、超微粒子の生成から堆積までを連続的な一括のプロセスで行う超微粒子生成堆積装置である。

請求項（抜粋）：

低圧希ガス雰囲気下でターゲット材をレーザー光で励起し、アブレーション反応によって前記ターゲット材の脱離・射出を行い、前記アブレーション反応によって脱離・射出された物質を空中で凝縮・成長させて超微粒子を生成し、生成された超微粒子を前記アブレーション反応によって生じたアブレーションプルームの成長方向に配置された超微粒子収集パイプによって収集する超微粒子生成部、収集された超微粒子を荷電し微分型電気移動度分級装置を用いて分級する超微粒子分級部、分級された超微粒子を堆積基板上に超微粒子堆積用ノズルを介して堆積する超微粒子堆積部から構成される、超微粒子の生成から堆積までを連続的な一括のプロセスで行うことを特徴とする超微粒子生成堆積装置。

Fターム (10件)：

4K029BA35 , 4K029BC07 , 4K029BD01 , 4K029CA01 , 4K029DA00 , 4K029DA02 , 4K029DA05 , 4K029DB08 , 4K029DB20 , 4K029EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-231460
光電子材料の製造方法、並びにその光電子材料を用いた応用素子及び応用装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-157840 出願人：松下電器産業株式会社
微粒子分析装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-097327 出願人：理化学研究所

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