特許

J-GLOBAL ID：200903019425291104

高純度チタン材の鍛造方法

発明者： 大西 隆 ,  吉村 泰徳 ,  岡本 節男
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064680
公開番号（公開出願番号）：特開平8-232061
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【目的】 スパッタ膜厚の均一性に優れたチタンターゲットを製造するための高純度チタン材の鍛造方法を提供する。【構成】 変態点以上の温度で鍛錬成形比が5以上となるように鍛伸と据え込みを組み合わせた1次鍛造加工を行なう。その後、変態点以下の温度で鍛錬成形比が5以上となるように鍛伸と据え込みを組み合わせた2次鍛造加工を行なう。

請求項（抜粋）：

スパッタリング用のチタンターゲットを製造するための高純度チタン材の鍛造プロセスにおいて、変態点以上の温度で鍛錬成形比が5以上となるように鍛伸と据え込みを組み合わせた1次鍛造加工を1回以上行った後、変態点以下の温度で鍛錬成形比が5以上となるように鍛伸と据え込みを組み合わせた2次鍛造加工を1回以上行なうことを特徴とする高純度チタン材の鍛造方法。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  B21J 1/04 ,  B21J 5/00 ,  C22F 1/18 ,  H01L 21/203

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  B21J 1/04 ,  B21J 5/00 E ,  C22F 1/18 H ,  H01L 21/203 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-286639
  
• スパッタリング用ターゲット及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-072573   出願人：三菱マテリアル株式会社