特許

J-GLOBAL ID：200903019430064590

静電チャックデバイスおよび静電チャック用基台

発明者： 川南 修一 ,  浅井 義博
出願人/特許権者： 日本セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089926
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270540
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 温度変化があっても、静電チャックのそりや剥離を生じることがない静電チャックデバイスおよび静電チャック用基台を提供すること。【解決手段】静電チャックデバイス1は、内部電極4を有するセラミックス製プレート3からなる静電チャック2と、この静電チャック2を固定する金属-セラミックス複合材料で形成された基台5とを具備する。

請求項（抜粋）：

内部電極を有するセラミックス製プレートからなる静電チャックと、この静電チャックを固定する金属-セラミックス複合材料で形成された基台とを具備することを特徴とする静電チャックデバイス。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-100701   出願人：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研