特許
J-GLOBAL ID:200903019433509607

距離計測方法及び距離センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-101347
公開番号(公開出願番号):特開平9-287931
出願日: 1996年04月23日
公開日(公表日): 1997年11月04日
要約:
【要約】【課題】 大深度測定及び高分解能測定を可能にする。【解決手段】 発光ダイオードや半導体レーザ等よりなり発光素子1から出射された単波長の光はコリメータレンズ2により平行光にされる。コリメータレンズ2から出射された平行光は、円錐レンズ3により小ビーム径が長い距離に亘って持続するようなビームに変えられて被測定物Obの表面に照射される。被測定物Obの表面により拡散された光が集光レンズ4により位置検出素子5に集光されることによって、被測定物Obの表面の距離を計測することができる。
請求項(抜粋):
単波長の平行光を出射する工程と、出射された平行光を小ビーム径が長い距離に亘って持続するようなビームに変え被測定物の表面に照射する工程と、前記被測定物の表面に照射された後、拡散されたビームを集光する工程と、集光されたビームの位置を検出する工程と、検出されたビームの位置に基づき前記被測定物の表面における距離を測定する工程とを備えていることを特徴とする距離計測方法。
IPC (2件):
G01B 11/30 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01B 11/30 C ,  G01B 11/00 B
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開昭62-028610
  • 光学式変位測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-356492   出願人:ファナック株式会社

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