マイクロ波プラズマ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062308
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272897
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【構成】マイクロ波導入板25が複数個の孔26aを有する金属板26と複数個の孔26aに挿入・接着された複数個の誘電体27とから構成されているマイクロ波プラズマ装置。【効果】反応器11内を気密状態に保持することができ、複数個の誘電体27を通して反応器11内に電界を均一に形成することができる。また、マイクロ波導入板25の主要部が金属板26により構成されているため、熱応力や機械的応力に対する耐性を全体的に高めることができ、弾力性を有する接着剤28により誘電体27と金属板26との熱膨張差を吸収することができる。したがって反応器11内にプラズマを均一に発生させることができるとともに、マイクロ波導入板25の破損を防止することができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発振器と、マイクロ波を伝播する誘電体線路と、該誘電体線路に対向配置されたマイクロ波導入板を有する反応器とを備えたマイクロ波プラズマ装置において、前記マイクロ波導入板が複数個の孔を有する金属板と前記複数個の孔に挿入・接着された複数個の誘電体とから構成されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。

IPC (4件)：

H05H 1/46 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/302 B , H01L 21/302 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-299339
プラズマエツチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-331269 出願人：住友金属工業株式会社
特開昭63-299339

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