露光装置及び露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181073
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】フィルムマスクFと基板Kの間に保護フィルム1を介在させ、露光毎に巻取りロール3により保護フィルム1を巻き取って、常にきれいな保護フィルム1をフィルムマスクFと基板Kの間に介在させる。この保護フィルム1によりフィルムマスクF側に基板Kのレジストや異物が付着することがなく、露光欠陥の発生を防止する。

請求項（抜粋）：

露光対象物を載置する基台と露光すべきパターンを描いたマスクと該マスクを保持するマスク保持装置とを備えた露光装置において、前記マスクと露光対象物の間に介在する露光波長透過性のフィルムと、該フィルムを所定露光毎に交換可能に保持する装置と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 501 , H01L 21/30 508 Z

Fターム (12件)：

2H097BA04 , 2H097EA01 , 2H097GA27 , 2H097GA45 , 2H097JA01 , 2H097LA09 , 5F046AA03 , 5F046AA04 , 5F046BA01 , 5F046BA02 , 5F046DA16 , 5F046DA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-027736
感光性印刷版の露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-246534 出願人：三菱化学株式会社

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