薄板の研磨方法および研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316634
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156710
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】平坦性の高い薄板を容易に得ることができる薄板の研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】回転する保持板の下面で薄板を密着保持し、回転する定盤の上面に固設した研磨布に前記薄板を接触させることにより該薄板を狭持摺擦して研磨するにあたり、前記保持板で前記薄板を密着保持する前に、該薄板を研磨する前記研磨布で予め該保持板の薄板保持面を研磨しておくようにした。

請求項（抜粋）：

回転する保持板の下面で薄板を密着保持し、回転する定盤の上面に固設した研磨布に前記薄板を接触させることにより該薄板を狭持摺擦して研磨するにあたり、前記保持板で前記薄板を密着保持する前に、該薄板を研磨する前記研磨布で予め該保持板の薄板保持面を研磨しておくようにしたことを特徴とする薄板の研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ウェーハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-075718 出願人：日本電気株式会社

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