弾性表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282244
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135443
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】挿入損失の劣化がなく、耐電力性に優れた電極配線を有する弾性表面波装置を提供する。【構成】本発明の弾性表面波装置は、圧電基板1の表面上に、1〜30オングストロームの金属、またはホウ素(B)、炭素(C)、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、炭化シリコン(SiC)、窒化ホウ素(BN)および窒化シリコン(Si3 N4 )等を含む化合物の下地膜2と、500〜3000オングストロームの膜厚で、(111)の一軸配向構造を有するAlまたはAl合金膜による電極配線3が形成されており、フォトリソグラフィにより、すだれ状に微細加工されている。

請求項（抜粋）：

単結晶圧電基板または圧電薄膜を含む圧電基板上に、アルミニウムまたはアルミニウム合金より成る電極配線を備えて構成される弾性表面波装置において、前記圧電薄膜上において形成され、前記単結晶圧電基板または圧電薄膜およびアルミニウムに対して濡れ性が高く、且つアルミニウムとの反応性が低い金属または化合物により構成される、膜厚が1〜30オングストロームの下地膜と、前記下地膜上に形成された(111)の一軸配向構造を有するアルミニウムまたはアルミニウム合金により形成される電極配線と、を備えて構成されることを特徴とする弾性表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭56-031213
薄膜配線およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-057549 出願人：日本電気株式会社
特開昭59-055615

全件表示

前のページに戻る