特許
J-GLOBAL ID：200903019549930377

結晶の育成方法及び育成用ルツボ

発明者：
沢田 真一

沢田 真一 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112539
公開番号（公開出願番号）：特開平9-295887
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 双晶欠陥の少ない良質のバルク状単結晶を育成する方法及び結晶育成用ルツボを提供しようとするものである。【解決手段】 ルツボの先端に種結晶を配置し、種結晶から他端に向けて原料融液を固化して結晶を育成する方法において、種結晶の結晶方位によって決定される成長結晶のファセット発生方向に対応するルツボの円錐側面及び/又は円筒側面を、ルツボの軸に垂直な円形断面から内側に凹ませたルツボを使用して単結晶の育成方法である。
請求項（抜粋）：
円筒形ルツボ又は円錐形先端部を備えた円筒形ルツボの先端に種結晶を配置し、該種結晶から他端に向けて原料融液を固化して結晶を育成する方法において、前記種結晶の結晶方位によって決定される成長結晶のファセット発生方向に対応する前記ルツボの円錐側面及び/又は円筒側面を、ルツボの軸に垂直な円形断面から内側に凹ませたルツボを使用することを特徴とする結晶の育成方法。
IPC (6件)：
C30B 11/00 ,  C30B 29/16 ,  C30B 29/40 501 ,  C30B 29/42 ,  C30B 29/48 ,  H01L 21/208
FI (6件)：
C30B 11/00 C ,  C30B 29/16 ,  C30B 29/40 501 C ,  C30B 29/42 ,  C30B 29/48 ,  H01L 21/208 T
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM