特許

J-GLOBAL ID：200903096723911250

単結晶製造用ルツボ及び単結晶の製造方法

発明者： 石井 顯治 ,  佐藤 貴幸
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 矢口 平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271351
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110575
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】【課題】 縦型ボート法による単結晶成長方法において、双晶の発生を抑え、歩留り良く単結晶が得られるようにする。【解決手段】 ルツボの下部の増径部の水平断面形状を直線部を含む2回ないし3回の点対称形とし、直胴部の水平断面を円形としたルツボを使用する。

請求項（抜粋）：

縦型ボート法による単結晶成長用のルツボであって、ルツボ増径部の大部分の水平断面形状が直線部を含む3回ないし2回の点対称形であり、直胴部の水平断面形状が円形であることを特徴とする単結晶製造用ルツボ。

IPC (2件)：

C30B 11/00 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 11/00 C ,  H01L 21/208 Z ,  H01L 21/208 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-054184
  
• 化合物半導体の製造方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-160605   出願人：日立電線株式会社
• 化合物半導体単結晶の製造法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-089984   出願人：旭硝子株式会社
• 特開平3-054184