特許
J-GLOBAL ID：200903019565143156
大等価波長を用いた物体表面形状測定方法及びシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024242
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285561
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【課題】 従来の干渉計より遥かに広い視野と高速度で光学的に物体表面形状を測定する。【解決手段】 減感干渉縞を用いて、物体に対して適切な作業距離から物体表面形状を光学的に測定する方法とシステムであり、このシステムは、光源と、光源光の波長よりはるかに長い等価波長を有する減感干渉縞を生成する減感干渉計と、物体を減感干渉計に対して変位させる走査機構と、減感干渉縞を1つ以上の画素の測定データとして検知する検知手段と、検知した測定データをメモリに記憶し解析した後各画素の表面高さに変換するコンピュータとで構成される。前記測定データは、物体を干渉計に対して変位させた際の走査位置の関数としての強度変動を示し、等価コヒーレンス長以内の範囲に干渉効果を制限する信号包絡線により変調した等価波長に関する振動性の信号として表される。この包絡線は縞明暗を示し、この縞明暗から各画素の表面高さを決定して表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
減感干渉計手段から生成される減感干渉縞を用いて物体に対し適切な作業距離から物体表面の形状を測定する方法であって、前記減感干渉縞を得るために関連波長を有する光源によってその光源関連波長より長い関連等価波長を有する減感干渉計手段を照明する工程と、いかなる干渉効果も等価コヒーレンス長の範囲内に制限し、前記干渉縞に対応する信号とその縞コントラストに対応する包絡線とからなる信号包絡線によって変調された等価波長に関する信号を含む変量を供給するために減感干渉計手段に対し物体を変位させることにより減感干渉計手段の視野内の少なくとも1つの画素に対応する測定データを生成する工程と、各画素に対応する表面高さを決定するために測定データを解析する工程とからなることを特徴とする大等価波長を用いた物体表面形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/30 102
, G01B 9/02
G01B 11/30 102 B
, G01B 9/02
