回折光学素子を用いて表面形状を測定する方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288996
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226806
出願日： 1995年11月07日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】物体の表面形状を簡単な構成で精度よく容易に測定すること。【解決手段】光源30と、2つ以上の回折格子、ホログラム又は回折光学素子(120,130;122,132;123,133)からなる回折光学アセンブリ(70,72,73)と、干渉データから表面高さを決定する電子検出手段およびディジタル信号処理手段(10,110)を備え、回折光学アセンブリ(70,72,73)は、その入射光を2つのビーム(150,160;152,162;153,163)に分割し、その2つのビームは、物体表面(70)上の同一場所に2つの異なる入射角で物体(20)に衝突する。物体表面から反射した後、ビームは回折光学アセンブリ(70、72、73)を別々に逆方向に通過する。そして、2つのビームは再結合して表面形状を表わす干渉パターンを生成する。結果として得られる干渉パターンの等価波長は照明波長よりはるかに大きくなる。

請求項（抜粋）：

減感された干渉縞を用いて実用的な作業距離で物体表面の表面形状を測定する方法であって、回折光学アセンブリを光源で照明し、回折光学アセンブリを照明する光源の光を回折光学アセンブリを介して2つの異なる方向に進む2つのビームに分割して、回折光学アセンブリを出たビームを、2つの異なる入射角で実質的に同じ位置で物体表面に衝突させることによって、適当な作業距離をおいて物体表面で実質的に重なり合せ、物体表面からの衝突光を回折光学アセンブリの方へ反射させて、反射ビームを異なる方向で回折光学アセンブリを逆方向に通過させ、そして、回折光学アセンブリを逆方向に通過した反射ビームを再結合して物体表面の表面形状を表わす、表面歪みと表面粗さに対して低減された感度を有する干渉パターンを形成し、それによって、前記物体表面が比較的長い仕事距離に設置され得る方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-034480 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
特開平4-286904
特開昭58-062507

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