位相シフトデジタルホログラフィ法を用いた歪計測方法および歪計測装置

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：板垣孝夫 , 森本義弘 , 笹原敏司 , 原田洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-303775
公開番号（公開出願番号）：特開2007-113974
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】非接触でかつ広範囲での被計測部分の歪を、高い空間分解能で精度良く計測し得る位相シフトデジタルホログラフィ法を用いた歪計測方法を提供する。【解決手段】位相シフトデジタルホログラフィ法を用いると共にレーザ光Rを2光束で用いて被計測物体表面における面内変位と面外変位を計測する際に、1つのレーザ照射器11から出射されたレーザ光Rを2つの計測光Ra,Rbに分割し、これら計測光を載置面Dに載置された被計測物体Mに、互いに直交する垂直面内方向で照射し、しかも各計測光の半分を載置面上の被計測物体に直接に照射させると共に、残りの半分を載置面に直交して配置された反射ミラー31,32で反射させて被計測物体の両側から同じ入射角でもって照射させ、載置面と各垂直面との交差軸方向での面内方向および載置面に垂直な面外方向での変位量を計測し、この三次元方向での変位量を微分して被計測物体表面の歪を求める方法である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

レーザ照射器から出射されたレーザ光を計測光として所定の載置面に載置された被計測物体に照射し、その反射した物体光と上記レーザ光から第1ビームスプリッタにより分割され且つ位相がπ/2ずつ1周期分シフトされた参照光とを同軸でもってCCDカメラに入射させて得られたホログラム画像から被計測物体表面の位相分布を位相シフトデジタルホログラフィ法を用いて求める手順を、被計測物体の変形前と変形後とで行い、これら変形前と変形後との両位相分布の差である位相分布差から物体光の照射方向での被計測物体表面における変位を求める変位演算工程を具備するとともに、この変位演算工程を、被計測物体の載置面に垂直な第1垂直面の面内および載置面に垂直で且つ上記第1垂直面に垂直な第2垂直面の面内で、それぞれ被計測物体の両側から且つ入射角が等しくされた2つの第1計測光および2つの第2計測光(以下、2つの計測光を2光束という)についてそれぞれ行うことにより、載置面に垂直なz軸方向および載置面と第1垂直面との交差軸であるx軸方向、並びに載置面に垂直なz軸方向および載置面と第2垂直面との交差軸であるy軸方向での変位量をそれぞれ演算し、上記求められた三次元方向での変位量から被計測物体に生じた歪を算出する歪計測方法であって、上記第1計測光および第2計測光を、上記第1ビームスプリッタにより分割された計測光を第2ビームスプリッタにて分割することにより得るとともに、この得られた各計測光をそれぞれ2光束でもって被計測物体に照射する際に、それぞれの照射経路に配置された一対のシャッター部材を開閉させることにより、2光束における一方の計測光を直接に被計測物体に照射させるようになし、且つ2光束における他方の計測光を、その照射方向に対向して配置された反射ミラーを介して被計測物体に上記一方の計測光とは反対側から照射させるようにしたことを特徴とする位相シフトデジタルホログラフィ法を用いた歪計測方法。

IPC (1件)：

G01B 11/16

FI (1件)：

G01B11/16 H

Fターム (9件)：

2F065AA65 , 2F065CC14 , 2F065FF04 , 2F065GG04 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31

引用特許：

出願人引用 (1件)

非接触変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-062303 出願人：株式会社島津製作所

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