特許

J-GLOBAL ID：200903019594770852

化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法および化学増幅型レジスト用樹脂

発明者： 友部 斉 ,  溝田 浩敏 ,  山中 博生 ,  岩崎 法正
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022227
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229220
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジスト用樹脂を簡便な方法で精製する方法および優れた化学増幅型レジスト用樹脂を提供する。【解決手段】 化学増幅型レジスト用樹脂を、炭素数1〜3のアルコール中で30〜70°Cの温度において1分間以上分散させた後、当該樹脂を分離する化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法。また、この精製方法により得られた嵩密度が0.15g/cm3以上の化学増幅型レジスト用樹脂。

請求項（抜粋）：

化学増幅型レジスト用樹脂を、炭素数1〜3のアルコール中で30〜70°Cの温度において1分間以上分散させた後、当該樹脂を分離する化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法。

IPC (6件)：

G03F 7/38 501 ,  C08F 6/10 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/18

FI (6件)：

G03F 7/38 501 ,  C08F 6/10 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/26 501 ,  C08F 20/18 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BJ10 ,  2H096AA25 ,  2H096BA09 ,  2H096EA03 ,  2H096EA04 ,  2H096LA30 ,  4J100AL08P ,  4J100BC01P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC37P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100GA19 ,  4J100GC35 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 酸感応性重合体、レジスト組成物、レジストパターン形成方法、および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-165935   出願人：富士通株式会社
• 特開昭59-045439
  
• ポリオレフィンの精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332134   出願人：三井東圧化学株式会社
• 特開昭62-106911
  
• 共重合体の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-010709   出願人：東ソー株式会社

審査官引用 (5件)

• 酸感応性重合体、レジスト組成物、レジストパターン形成方法、および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-165935   出願人：富士通株式会社
• 特開昭59-045439
  
• ポリオレフィンの精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332134   出願人：三井東圧化学株式会社
• 特開昭62-106911
  
• 共重合体の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-010709   出願人：東ソー株式会社