特許
J-GLOBAL ID:200903019661288009

露光方法及び露光評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-308845
公開番号(公開出願番号):特開2002-113898
出願日: 2000年10月10日
公開日(公表日): 2002年04月16日
要約:
【要約】【課題】 本発明は任意の露光エネルギーが指定されたとき、そのエネルギーでサンプルが露光されるように光パワー-LD発光条件が自動設定され、動作するように手順が組み込まれ、サンプルの評価を簡単にする露光方法及び露光評価方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の露光方法は、任意の露光エネルギー値と単位面積当たりの光パワー近似値を求める所定の算出式とにより発光手段の光パワー近似値を求め、求めた光パワー近似値とフィルタの透過率とによってフィルタを介さない時の発光手段の光パワーを求める。そして、フィルタを介さない時の発光手段の光パワーと予め設定した近似関数から発光手段の発光条件を求める。求めた発光条件からフィルタの枚数を求め、求めた発光条件で発光手段を駆動させて、求めた枚数のフィルタを介して担持体の表面を露光する。
請求項(抜粋):
担持体の表面にフィルタを介して光を照射して露光を行う発光手段の光パワーを制御して露光を行う露光方法において、任意の露光エネルギー値と単位面積当たりの光パワー近似値を求める所定の算出式とにより前記発光手段の光パワー近似値を求め、求めた光パワー近似値と前記フィルタの透過率とによって前記フィルタを介さない時の前記発光手段の光パワーを求め、前記フィルタを介さない時の前記発光手段の光パワーと予め設定した近似関数から前記発光手段の発光条件を求め、該発光条件から前記フィルタの枚数を求め、前記発光条件で前記発光手段を駆動させて、求めた枚数の前記フィルタを介して前記担持体の表面を露光することを特徴とする露光方法。
Fターム (5件):
2C362AA53 ,  2C362AA54 ,  2C362AA59 ,  2C362AA63 ,  2C362AA65
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る