特許
J-GLOBAL ID:200903019712567510
外観検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
川口 光男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-370018
公開番号(公開出願番号):特開2002-168800
出願日: 2000年12月05日
公開日(公表日): 2002年06月14日
要約:
【要約】【課題】撮像手段を備えた外観検査装置において、コストの増大防止、省スペース化を図ることができ、耐久性に優れた外観検査装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブル2と、プリント基板Kの表面に対し斜め上方から正弦波状の複数の位相変化する光パターンを照射するための照明装置3と、プリント基板Kからの反射光を波長成分毎に撮像するための撮像手段4とを備えている。撮像手段4は、CCDカメラとレンズとを有しており、撮像視野を狭視野とするための第1の位置と、第1の位置よりも離間した位置にあり、撮像視野を広視野とするための第2の位置との間を移動可能となっている。
請求項(抜粋):
検査対象物の表面部分を撮像可能な撮像手段を備えた外観検査装置であって、前記撮像手段は、カメラと、該カメラに対し相対移動可能に設けられ、前記検査対象物の観測像を前記カメラの所定の結像面に転写像として転写させるためのレンズとを有するとともに、前記検査対象物に対して前記撮像手段を近接方向及び離間方向へ移動させることにより、前記カメラの撮像視野を狭視野及び広視野間で切換可能としたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件):
FI (3件):
G01N 21/956 B
, G01B 11/24 F
, G01B 11/24 K
Fターム (44件):
2F065AA04
, 2F065AA07
, 2F065AA14
, 2F065AA16
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB02
, 2F065CC01
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065HH02
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL05
, 2F065LL30
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ14
, 2F065QQ24
, 2F065RR08
, 2F065SS04
, 2F065UU01
, 2F065UU02
, 2F065UU07
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051AB20
, 2G051AC02
, 2G051AC15
, 2G051BA20
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051DA07
, 2G051EA09
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB02
引用特許:
審査官引用 (2件)
-
半導体検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-339868
出願人:浜松ホトニクス株式会社
-
目視検査システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-188525
出願人:谷電機工業株式会社
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