基板用カセット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大石征郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209108
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036219
出願日： 1995年07月24日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】大型の基板であってもその収容時の撓みを有効に防止することができるように工夫した基板用カセットを提供することを目的とする。【解決手段】下面は底面側フレーム(11)、上面は天井側フレーム(12)、背面はストッパーとしての受けフレーム(13)でそれぞれ構成され、相対向する1対の側面は、カセット内部側に向けて背肉部(21)から所定のピッチで棚片(22)が張り出した構造を有する溝付き側板(2), (2)で構成された箱形のカセットである。基板(B) を収容するカセットの有効巾をW(mm)、溝付き側板(2) の棚片(22)の張り出し長さをL(mm)とするとき、Wが400以上でかつL/Wが1/10〜1/4 であるように設計し、もって大型の基板(B) を長尺の棚片(22)で支持するようにする。

請求項（抜粋）：

下面は底面側フレーム(11)、上面は天井側フレーム(12)、背面はストッパーとしての受けフレーム(13)でそれぞれ構成され、相対向する1対の側面は、カセット内部側に向けて背肉部(21)から所定のピッチで棚片(22)が張り出した構造を有する溝付き側板(2), (2)で構成され、これら相対向する溝付き側板(2), (2)の対応する溝間に大型の基板(B) を出入、収容しうるようにした箱形のカセットにおいて、基板(B) を収容するカセットの有効巾をW(mm)、溝付き側板(2) の棚片(22)の張り出し長さをL(mm)とするとき、Wが400以上でかつL/Wが1/10〜1/4 であるように設計し、もって大型の基板(B) を長尺の棚片(22)で支持するようにしたことを特徴とする基板用カセット。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V , B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板用カセツト
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-339898 出願人：淀川化成株式会社
特表平2-500631

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