特許

J-GLOBAL ID：200903019737484112

ガラス表面処理液及び処理方法

発明者： 丸子 洋一郎 ,  瀬川 徹 ,  佐藤 龍弘
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148550
公開番号（公開出願番号）：特開2001-335342
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：

【要約】【課題】ムラのない均一な凹凸を作ることができ、刺激臭がなく、濃度管理が容易で冬季の扱いも簡易な新規なガラス表面処理液及びこのガラス表面処理液を用いることによってムラのない均一な凹凸を効率よく作ることができるようにしたガラス表面処理方法を提供する。【解決手段】フッ化水素と、フッ化アンモニウムと、炭素を3〜7個有する親水性カルボン酸の1種類又は2種類以上と、を水に混合するようにした。

請求項（抜粋）：

フッ化水素と、フッ化アンモニウムと、炭素を3〜7個有する親水性カルボン酸の1種類又は2種類以上と、を水に混合することを特徴とするガラス表面処理液。

IPC (4件)：

C03C 15/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22

FI (4件)：

C03C 15/00 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/22 501 D

Fターム (5件)：

4G059AA20 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB17 ,  5F045BB15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-255402
  
• エッチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-027834   出願人：エスイーゼットセミコンダクター-イクイプメントツベヘーアフュアジハルブライターフェルティグングアーゲー