特許
J-GLOBAL ID：200903019739400870
半導体装置およびそのマーキング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347817
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189667
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】カラーフィルターがオンチップされたCCDを形成する半導体装置において、自動マウント工程における不良ペレット誤認を排除する半導体装置およびそのマーキング方法を提供する。【解決手段】半導体ペレット1には、ペレット認識マーク2、オンチップカラーフィルタ3およびインク打点4が配置されており、カラーCCDを形成する半導体装置の製造工程においては、ウェハー上に形成される半導体ペレットの特性評価が行われ、当該評価基準を満たさない不良ペレットの表面には、当該半導体ペレット1の端部に配置されるペレット認識マーク2上にインクマークが打点される。そして、ウェハーダイシング工程においては個々の半導体ペレットが切り離され、半導体ペレットの良否が判定されて、良品の半導体ペレットのみが選択され、パッケージに自動マウントする工程において良品の判別が行われる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハー段階における電気的特性を含む特性チェック後の半導体ペレットの不良識別手段として、当該不良半導体ペレット上のペレット認識マーク部分にインクマーキングを打点して形成される半導体ペレットを有することを特徴とする半導体装置。
引用特許：
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