圧電形加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246280
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089923
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】従来の圧電形加速度センサにあっては充分な強度で板状圧電素子を片持ち支持することが難しい。【解決手段】絶縁部材からなる柱状のベース32の側面に形成した溝32b,32cに、矩形板状の圧電素子33,34のそれぞれ一端を、ベース32の高さ方向と矩形板状の圧電素子33,34の長さ方向を一致させて嵌め込み接着剤で固定し、圧電素子33,34をベース32によって片持ち保持する。

請求項（抜粋）：

片持ち保持された板状圧電素子に曲げ応力を加え、この曲げ応力に応じた電圧を発生させる圧電形加速度センサにおいて、この圧電形加速度センサは絶縁材からなる柱状ベースの側面に長さ方向の溝を形成し、この溝に前記板状圧電素子の一端を嵌め込んで固定したことを特徴とする圧電形加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 A , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

圧電型加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-290616 出願人：松下電工株式会社
特開平3-156375

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