特許
J-GLOBAL ID:200903019759466738

計測結果又は解析結果投影装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-242869
公開番号(公開出願番号):特開2001-066158
出願日: 1999年08月30日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 計測結果又は解析結果と試料との対応を観察者にとって容易にする。【解決手段】 計測部5によって計測された試料1の計測結果の画像は、計測結果解析部3に供給される。計測結果解析部3は、その結果得られた解析結果の画像を解析結果投影用プロジェクタ6aに供給する。解析結果投影用プロジェクタ6aは、解析結果の画像を試料1に投影する。
請求項(抜粋):
試料を計測する計測手段と、その計測手段による計測結果を解析し又は保存するする解析又は保存手段と、その解析又は保存手段による解析結果又は計測結果を前記試料に投影する投影手段とを具え、前記計測手段の光軸を、前記投影手段の光軸に一致させたことを特徴とする計測結果又は解析結果投影装置。
Fターム (1件):
2F041AA05
引用特許:
出願人引用 (4件)
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