特許
J-GLOBAL ID：200903019803261383
多軸ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073781
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274109
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 品質の高い面取りまたは段切りされたチップを形成することが可能であると共に生産性の高いダイシング装置を提供する。【解決手段】 軸線方向の位置関係を調整可能な二本のスピンドルを有してそれぞれのスピンドルの先端にブレードを装着した第一のスピンドルユニット及び第二のスピンドルユニットとが、軸線方向に移動可能に共通の基台に配設された多軸ダイシング装置を提供する。
請求項（抜粋）：
第一のスピンドルと第二のスピンドルとを具備し、該第一のスピンドルは該第二のスピンドルに対して軸線方向に移動可能であり該第一のスピンドルに装着したブレードと該第二のスピンドルに装着したブレードとの軸線方向の位置関係を調整でき、更に該第一のスピンドルと該第二のスピンドルとが共通の基台に配設されて一体的に軸線方向に移動可能な第一のスピンドルユニットと、第三のスピンドルと第四のスピンドルとを具備し、該第三のスピンドルは該第四のスピンドルに対して軸線方向に移動可能であり該第三のスピンドルに装着したブレードと該第四のスピンドルに装着したブレードとの軸線方向の位置関係を調整でき、更に該第三のスピンドルと該第四のスピンドルとが共通の基台に配設されて一体的に軸線方向に移動可能な第二のスピンドルユニットとを具備し、該第一のスピンドルユニットと該第二のスピンドルユニットとは、更に共通の基台に軸線方向に移動可能に配設されている多軸ダイシング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, B28D 5/00 Z
