洗浄装置及び洗浄方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067103
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254599
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】洗浄作業に要する時間を短縮できる洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。【解決手段】洗浄治具112には、被洗浄物114の被洗浄部位を密閉空間に面するように、を取り付けられる。洗浄液タンク120A,120Bに収容された洗浄液は、洗浄治具112と被洗浄物114によって形成された密閉空間内に高速流として流入させて、被洗浄部位の洗浄を行う。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を洗浄液を用いて洗浄する洗浄装置において、上記被洗浄物の被洗浄部位を密閉空間に面するように、上記被洗浄物を取り付ける洗浄治具と、洗浄液を収容する洗浄液タンクと、この洗浄液タンクに収容された洗浄液を、上記洗浄治具と上記被洗浄物によって形成された密閉空間内に高速流として流入させるとともに、この密閉空間から流出した洗浄液を配管を介して上記洗浄液タンクに環流するポンプとを備えたことを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/02 , H05K 3/26 , H05K 3/34 510

FI (3件)：

B08B 3/02 A , H05K 3/26 A , H05K 3/34 510

Fターム (12件)：

3B201AA01 , 3B201AB08 , 3B201BB22 , 3B201BB90 , 3B201BB92 , 3B201BB95 , 3B201CB12 , 3B201CC12 , 3B201CD11 , 5E319BB04 , 5E319CD01 , 5E343FF23

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-304636
特開昭62-066695
特開平4-212421

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審査官引用 (4件)

特開平4-304636
特開昭62-066695
特開平4-304636

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