特許
J-GLOBAL ID：200903019812345921
研磨具およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸山 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-181758
公開番号（公開出願番号）：特開2004-082323
出願日： 2003年06月25日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】切りくずや摩耗した砥粒をフィルム表面にある凹部の溝に誘導し、確実に排出することにより、スクラッチフリーで、安定にナノメータオーダの極めて良好な鏡面を得ることができる安価かつ簡単に製造できる研磨具およびその製造方法を提供する。【解決手段】一次粒子が超微粒子である微粒子が、互いに空隙を残しながら部分的に結合して二次粒子を形成し、二次粒子である顆粒を砥粒2として基材12上にバインダで固定化した研磨層を有し、研磨層は一定の間隔で多数の一定の形状を有するブロックに分割され、ブロック間で凹となる溝をゆうする格子状パターンを有する。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
多数の一次粒子が凝集して形成された二次粒子が一次粒子同士の結合点にネックが形成される温度で加熱処理し、その多数の一次粒子が部分的に、かつ、その間に空隙が形成されている状態で結合している粒状の多孔質体からなる砥粒を用いて、基材の上にバインダで固定化した研磨層を有する研磨工具であって、
前記基材の上にバインダで固定した研磨層は、一定の間隔で多数の一定の形状を有するブロックに分割され、ブロック間で凹となる溝を有する格子状パターンを有することを特徴とする研磨具。
IPC (3件)：
B24D11/00
, B24D3/00
, B24D3/02
B24D11/00 M
, B24D3/00 330A
, B24D3/00 340
, B24D3/02 310B
3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BA24
, 3C063BB01
, 3C063BB02
, 3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BB08
, 3C063BC03
, 3C063BC09
, 3C063BD04
, 3C063BG08
, 3C063FF20
