特許
J-GLOBAL ID：200903019822421251
露光装置、判定方法及びデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320080
公開番号（公開出願番号）：特開2006-134974
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 光源の寿命を正確に判定し、優れた露光性能を発揮することができる露光装置、判定方法及びデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 プラズマを生成する生成機構110と、前記プラズマから放射される光を集光する集光ミラー120と、前記生成機構及び前記集光ミラーを収納し、前記集光ミラーで集光された前記光の集光点の位置と略一致する位置に開口を有する真空容器とを有する光源部130と、前記光源部からの前記光でレチクルを照明する照明光学系400とを有し、前記レチクルのパターンを被処理体に露光する露光装置であって、前記集光点の射出側において、前記集光点からの光を検出する検出手段200と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記光源部の寿命の判定を行う判定手段300とを有することを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プラズマを生成する生成機構と、前記プラズマから放射される光を集光する集光ミラーと、前記生成機構及び前記集光ミラーを収納し、前記集光ミラーで集光された前記光の集光点の位置と略一致する位置に開口を有する真空容器とを有する光源部と、前記光源部からの前記光でレチクルを照明する照明光学系とを有し、前記レチクルのパターンを被処理体に露光する露光装置であって、
前記集光点の射出側において、前記集光点からの光を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記光源部の寿命の判定を行う判定手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G21K 5/00
, G21K 5/02
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
, G21K5/00 Z
, G21K5/02 X
, H01L21/30 516C
, H01L21/30 517
5F046BA05
, 5F046CA08
, 5F046CB02
, 5F046CB03
, 5F046CB13
, 5F046CB23
, 5F046CB25
, 5F046DA01
, 5F046DB01
, 5F046DC02
, 5F046GA03
, 5F046GA07
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GC03
