特許

J-GLOBAL ID：200903019827219930

希薄溶液の製造方法および装置

発明者： 水田 隆司 ,  柳 基典
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160957
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007324
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 濃度調整のための大きいタンクやポンプ、広いスペースを必要とせず、低濃度の薬液の微妙な調整が可能で、精度低下がなく、作業性よく、大量かつ安定的に稀薄薬液を供給することのできる希薄溶液の製造方法および装置を提供すること。【解決手段】 主管路に段階的に流体通過面積可変のバルブユニットを介して枝管を接続し、前記主管路に母液を通過させつつ前記枝管から一定濃度の薬液を圧入して均一に混合させ、前記薬液が前記母液に均一に混合した領域において前記薬液の濃度を測定し、この測定結果に基づいて、前記バルブユニットの流体通過面積を段階的に制御することを特徴とする。薬液を母液中に間欠的に注入し、この薬液圧入の圧入時間幅も併せて制御するようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

主管路に段階的に流体通過面積可変のバルブユニットを介して枝管を接続し、前記主管路に母液を通過させつつ前記枝管から一定濃度の薬液を前記主管路に圧入して均一に混合させ、前記枝管より下流の前記薬液が前記母液に均一に混合した領域において前記主管内の前記薬液の濃度を測定し、この測定結果に基づいて、前記バルブユニットの流体通過面積を段階的に制御することを特徴とする希薄溶液の製造方法。

IPC (2件)：

G05D 11/02 ,  B01F 15/04

FI (2件)：

G05D 11/02 ,  B01F 15/04 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第2617030号
  
• 異種流体混合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-286919   出願人：有限会社エーディ, ガスミックス工業株式会社