特許

J-GLOBAL ID：200903019841104143

表面が砂目加工された石英物品及び該物品の洗浄方法

発明者： 斎藤 実
出願人/特許権者： 株式会社山形信越石英 ,  信越石英株式会社
代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272764
公開番号（公開出願番号）：特開2001-151537
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 パーティクルの発生を防止した表面が砂目加工された石英物品を提供する。【解決手段】 砂目加工された表面を有し、該表面を洗浄して製造される表面が砂目加工された石英物品において、前記表面から発生する1CF(キュービックフィート)当たりのパーティクル数を、0.2μm以上〜0.3μm未満が30個以下、0.3μm以上〜0.5μm未満が60個以下、0.5μm以上〜1.0μm未満が60個以下、1.0μm以上が10個以下、としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

砂目加工された表面を有し、該表面を洗浄して製造される表面が砂目加工された石英物品において、前記表面から発生する1CF(キュービック フィート)当たりのパーティクル数を、0.2μm以上〜0.3μm未満が30個以下、0.3μm以上〜0.5μm未満が60個以下、0.5μm以上〜1.0μm未満が60個以下、1.0μm以上が10個以下、としたことを特徴とする表面が砂目加工された石英物品。

IPC (5件)：

C03C 23/00 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 644

FI (5件)：

C03C 23/00 A ,  C03B 20/00 K ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 644 Z ,  H01L 21/302 H

Fターム (10件)：

4G014AH08 ,  4G014AH23 ,  4G059AA04 ,  4G059AC30 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BB20 ,  5F004BB29 ,  5F045BB14 ,  5F045EB11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 石英ボ-トおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-028418   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (1件)

• 石英ボ-トおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-028418   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社