特許
J-GLOBAL ID：200903055490012979
石英ボ-トおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028418
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209063
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 加熱処理時の癒着に起因するシリコンウェーハでのチッピング、突起やディンプルの発生を低減でき、またサンドブラスト加工により発生するウェーハ搭載面のパーティクル汚染を低減でき、さらに良好にパーティクル汚染を低減できる石英ボートおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 面板12a,12b間を連結する4本の支柱13に形成された石英ボート11の各ウェーハ保持溝14にシリコンウェーハ2を挿入する。この際、ウェーハ搭載面14aにはサンドブラスト加工で接触面積を小さくする凹凸部15を設けているので、熱処理時、シリコンウェーハ2とウェーハ保持溝14との接触部分に癒着が起きても癒着面積が小さくなる。これにより、癒着に起因するチッピング、その他ウェーハ突起やディンプルの発生を低減できる。
請求項（抜粋）：
複数の支柱と、これらの支柱同士を連結する連結部と、上記各支柱の同じ位置に配設されて、シリコンウェーハを搭載するウェーハ搭載面を含むウェーハ搭載部と、を備えた石英ボートであって、上記ウェーハ搭載部のウェーハ搭載面に凹凸部を設けた石英ボート。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/304 301
, H01L 21/68
H01L 21/22 511 G
, H01L 21/304 301 S
, H01L 21/68 N
