特許
J-GLOBAL ID：200903019855225318
反射型波長選択素子の曲げ機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-174478
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026856
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】狭くかつ安定したスペクトル線幅のレーザ光を得ることができるレーザ波面の補正を可能にする。【解決手段】共振器の一方を構成する反射型波長選択素子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射されるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲げ機構において、前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支持機構と、前記反射型波長選択素子の背面の略中央部を押圧する押圧機構とを備えるようにしている。
請求項（抜粋）：
共振器の一方を構成する反射型波長選択素子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射されるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲げ機構において、前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支持機構と、前記反射型波長選択素子の背面の略中央部を押圧する押圧機構と、を備えるようにした反射型波長選択素子の曲げ機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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形状可変鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-046774
出願人：株式会社日立製作所
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